2023年4月17日 · 晶体硅太阳电池制造采用了高温化学热扩散的方式来实现掺杂制结。 热扩散利用 高温驱动杂质穿过硅的晶格结构,这种方法受到时间和温度的影响,需要 3 个步 骤:预淀积、推进和激活。 扩散的三个指标:方阻、结深、表面浓度. 方阻值大小主要为表面浓度和结深的综合表征,其对电池片参数的影响主要有以 下三点:1)扩散 P-N 结深度直接影响到其对短波光线的吸
TOPCon电池工艺一般为:先正面制绒、硼扩,再进行背面隧穿层、掺杂多晶硅层(Poly-Si)制备,之后再正面Al2O3膜层制备、正反面SiNx膜制备,最高后丝印前后电极与烧结。 TOPCon结构依次为正面SiNx膜、Al2O3膜、P型发射极(p+)、N型硅片基底、SiO2膜、N型多晶硅薄膜(Poly-Si)、背面SiNx膜。 各膜层的作用: n正面SiNx薄膜(约75nm):由于SiNX 富含氢原子,可
2024年2月1日 · 光伏技术的快速迭代引发了光伏设备的持续升级,涵盖了太阳能电池板、逆变器、材料科技等方面。 通过成本降低和性能提升,光伏技术得以更广泛地应用于能源行业,助力可再生能源实现更可持续的发展。
2020年12月23日 · 本文针对激光掺杂技术匹配的扩散工艺进行了优化调整,新扩散工艺增加了原位氧化+ 低温补源2 个步骤,其主要优势是扩散在硅片表面生长出的PSG 层更厚,在激光设备对硅片掺杂时减轻了激光损伤;同时,表面更高浓度的磷掺杂可以确保激光高功率掺杂时有
海目星高效光伏电池材料(TOPCon)激光掺杂设备是基于光伏电池工艺、机械自动化、软件算法控制等原理,采用硅片高速输送与定位系统设计、伯努利吸盘的高真空度高速放取技术、超精确度磁性滑台双工位交替治具打标技术等设计技术,针对光伏电池高精确度生产测试工艺等几个方面开展相关的技术研究,将BSG(硼硅玻璃)作为掺杂源,通过扩散炉推进高硼表面浓度的P++层,但
2020年3月15日 · 用人为的方法将所需杂质按要求的浓度和分布掺入到半导体材料中,达到改变材料的电学性质、形成半导体器件结构的目的,称之为" 掺杂 "。 2.2 扩散. a. 太阳能电池采用扩散法. b.
2024年10月9日 · TOPCon电池是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触的太阳能电池技术,其电池结构为N型硅衬底电池,背面制备一层超薄氧化硅,然后再沉积一层掺杂硅薄层,二者共同形成了钝化接触结构,有效降低表面复合和金属接触复合,为N-PERT电池转换
2022年8月4日 · 电池背面由一层超薄氧化硅(1~2nm)与一层磷掺杂的微晶非晶混合Si薄膜组成,二者共同形成钝化接触结构。 钝化性能通过退火过程进行激活,Si薄膜在该退火过程中结晶性发生变化,由微晶非晶混合相转变为多晶。 在850°C的退火温度下退火,iVoc>710mV,J0在9-13fA/cm2,显示了钝化接触结构优秀的钝化性能。 该结构可以阻挡少子空穴复合,提升电池
2024年12月14日 · 本章首先从光伏电池生产的核心环节(清洗制绒、扩散制结、沉积镀膜、金属化)入手,厘清各环节的制作原理及主流工艺设备,之后从TOPCon、HJT及XBC电池角度,分别梳理各自路线的主要工艺环节及电池生产成本,由此形成不同电池技术的成本比较框架与
2022年10月24日 · 激光掺杂设备:SE(Selective emitter)为选择性发射极,在前道扩散工序产生的磷硅玻璃层的基础上,利用激光的可选择性加热特性,在电极栅线与硅片接触部位进行高浓度磷掺杂,形成n++重掺杂区。 激光掺杂可提高电极接触区域的掺杂浓度,降低接触电阻。 激光消融设备:利用激光对钝化膜精确密刻蚀,实现微纳级高精确度的局部接触。 该工艺为PERC技术增强钝